文献类型：期刊文章

作　　者：朱其幸[1] 王道档[1,2] 卢毅伟[1] 孔明[1] 许新科[1]

Zhu Qixing;Wang Daodang;Lu Yiwei;Kong Ming;Xu Xinke(College of Metrology and Measurement Engineering,China Jiliang University,Hangzhou 310018,China;Wenzhou Research Institute of Zhejiang University,Wenzhou 325006,China)

机构地区：[1]中国计量大学计量测试工程学院,浙江杭州310018 [2]浙江大学温州研究院,浙江温州325006

出　　处：《红外与激光工程》

基　　金：国家自然科学基金(51775528);浙江省自然科学基金(LY21E050016,LY17E050014)。

年　　份：2022

卷　　号：51

期　　号：3

起止页码：347-354

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2020、CSCD、CSCD2021_2022、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：条纹投影测量技术为复杂曲面提供了一种大动态范围的非接触式三维形貌检测方式。在基于双光纤点衍射干涉的条纹投影检测系统中,系统结构参数对最终面形检测精度影响较大。通过建立系统结构几何分析模型,对系统结构参数进行了优化。针对双光纤点衍射探头投射角标定误差的影响,传统基于零级亮条纹定位的投射端投射角标定方法由于临近级次条纹光强较为接近难以区分而导致存在较大误差,为此提出了一种基于基准平面的投射角迭代校正方法,在原标定方法的基础上进一步提高了其标定精度,进而有效提高了面形检测精度。为验证所提出方法的可行性,搭建实验系统对不同斜率动态范围的待测物测量比对,结果表明校正前后的测量系统与三坐标测量机的测量结果偏差从0.418 2 mm减小至0.021 1 mm,实现了微米级的检测精度,为各类复杂曲面的高精度检测提供了一种可行的方法。

关 键 词：轮廓测量  光纤点衍射干涉  条纹投影  几何误差校正  复杂曲面

分 类 号：TH741]