文献类型：期刊文章

作　　者：郑东晖[1] 陈磊[1] 马致遥[1] 李金鹏[2] 胡晨辉[1]

Zheng Donghui;Chen Lei;Ma Zhiyao;Li Jinpeng;Hu Chenhui(School of Electronic and Optical Engineering,Nanjing University of Science&Technology,Nanjing 210094,Jiangsu,China;CAS Nanjing Astronomical Instruments Co.Ltd.,Nanjing 210042,Jiangsu,China)

机构地区：[1]南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京210094 [2]中科院南京天文仪器有限公司,江苏南京210042

出　　处：《光学学报》

基　　金：江苏省自然科学基金(BK20200458);国家自然科学基金(62005122)。

年　　份：2022

卷　　号：42

期　　号：23

起止页码：96-103

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2020、CAS、CSCD、CSCD2021_2022、EAPJ、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为抑制Φ600 mm波长调谐干涉仪测量过程中振动引起的测量误差,研究了波长调谐振动抑制算法。该算法构建了基于波长调谐移相的振动理论模型,在此基础上建立光强与初始相位的关系曲线,从它的频谱中提取谐波系数用于修正初始相位,解算出真实相位。引入评价参数误差抑制系数,将该算法应用于Φ600 mm波长调谐平面移相干涉仪,经过振动抑制算法的处理,振动引起的二倍频“纹波”误差得到较好的抑制,波面峰谷值由0.1180λ降至0.0951λ(λ为波长),均方根值由0.0164λ降到0.0135λ,结果验证了振动抑制算法在波长调谐移相干涉仪上的有效性。

关 键 词：测量  移相干涉  波长调谐 大口径干涉仪  振动抑制  

分 类 号：O436]