文献类型：期刊文章

作　　者：郝群[1] 刘一鸣[1] 胡摇[1] 宁妍[1] 王子琛[1] 徐楚恒[1] 董欣宇[1] 刘源恒[1]

Hao Qun;Liu Yiming;Hu Yao;Ning Yan;Wang Zichen;Xu Chuheng;Dong Xinyu;Liu Yuanheng(Beijing Key Laboratory for Precision Optoelectronic Measurement Instrument and Technology,School of Optics and Photonics,Beijing Institute of Technology,Beijing 100081,China)

机构地区：[1]北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室,北京100081

出　　处：《光学学报》

基　　金：科技部重点研发计划项目(2021YFC2202404);中国科学院战略性先导科技专项(XDA25020317);国家自然科学基金(51735002,51327005,61705008)。

年　　份：2023

卷　　号：43

期　　号：15

起止页码：334-345

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2020、CAS、CSCD、CSCD2023_2024、EAPJ、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：光学非球面在先进光学系统中有着广泛的应用,其面形和参数的高精度测量是光学非球面加工和装调的基础。从面形误差和参数误差两类被测量的角度,阐述了各种典型的干涉测量方法,重点介绍了笔者在部分补偿法、数字莫尔干涉法中取得的成果,探讨了光学非球面干涉测量的发展前景和研究方向。

关 键 词：干涉法 非球面 面形误差 参数误差  

分 类 号：TH741]