文献类型：期刊文章

作　　者：黄建军[1] 刘正之[2] 梁荣庆[2] D.Teuner[3]

机构地区：[1]深圳大学理学院,广东省深圳市518060 [2]中国科学院等离子体物理研究所,230031 [3]德国鲁尔大学电子工程与信息技术系,德国波鸿d44780

出　　处：《真空科学与技术》

基　　金：广东省自然科学基金资助项目 (No.980 92 2 )

年　　份：2002

卷　　号：22

期　　号：6

起止页码：408-411

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：利用自行研制的传感器和测量装置 ,通过对射频放电电压电流以及其相位角的测定 ,算出放电管的总阻抗 ,结合放电管的等效电路 ,对容性耦合射频 (CCRF)激励激光器放电特性进行研究 ,得出容性耦合射频激励激光器等离子体的伏安特性的曲线 ,以及等离子体电阻、容抗与气体压强、放电电流之间的实验曲线 ,在Godyak射频放电模型的基础上得出等离子体的电子密度 ,并同内置铜电极射频激励铜离子激光器阻抗特性进行了比较。

关 键 词：容性耦合射频放电  等离子体 实验研究  等效电路模型 放电特性

分 类 号：O53]