期刊文章详细信息
中国MEMS的研究与开发进程
Research and Development of MEMS in China
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]大连理工大学微系统研究中心,院士辽宁大连116023
年 份：2003
期 号：1
起止页码：1-3
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2000、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊
摘 要：微机电系统 (MicroElectroMechanicalSystems)是 80年代发展起来的新兴交叉学科 ,其系统包括能源、微驱动器、微执行器、微传感器、微控制器以及与外界的接口等。由于该系统能够实现各类产品的微型化、集成化与便携化 ,因而在天上、地面和海洋的诸多领域有广泛的应用与产业前景。本文概括地介绍微机电系统学科的重大意义 ,13年来中国MEMS研发的总体概况 。
关 键 词：中国 MEMS 研究 开发 微机电系统 微型化 集成化
分 类 号：TH－39[机械类]
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