期刊文章详细信息
相对低温低压合成金刚石工艺的优越性
SUPERIORITY OF THE DIAMOND SYNTHESIS PROCESS AT RELATIVELY LOWER TEMPERATURE AND PRESSURE
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]安徽宏晶新材料股份有限公司,安徽238231
年 份：2003
卷 号：15
期 号：1
起止页码：23-26
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：相对低温低压理论在国内已提出并推广了十余年 ,由于有一系列优越性 ,已逐渐被人们所认可。为了帮助一些工作者更清楚的认识此问题 ,从设备、工艺、腔体、节能等四个方面予以总结。提出了实现相对低温压在金刚石合成的若干设计中采用“五小两大”的指导思想和相配合的一系列措施。
关 键 词：设备 工艺 节能 金刚石 相对低温低压合成
分 类 号：TQ164.8]
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