文献类型：期刊文章

作　　者：查超麟[1] 刘祖明[1] 陈庭金[1] 李景天[1] 张忠文[2]

机构地区：[1]云南师范大学能源与环境科学学院,太阳能研究所,云南省农村能源工程重点实验室 [2]云南半导体器件厂,云南昆明650033

出　　处：《云南师范大学学报（自然科学版）》

基　　金：国家"8 63"资助项目 ( 2 0 0 1 AA5 1 3 0 40 )

年　　份：2003

卷　　号：23

期　　号：4

起止页码：25-33

语　　种：中文

收录情况：JST、RCCSE、ZGKJHX、ZMATH、普通刊

摘　　要：用快速热处理 ( RTP,Rapid Thermal Processing,)制备太阳电池 p-n结开辟了一种新的低成本技术。这些年许多科研机构对 RTP系统的设计、RTP快速扩散模型、RTP制作器件做了深入的研究。文章主要介绍了 RTP快速扩散模型和回顾了 RTP硅太阳电池的发展过程 ,提出了 RTP硅太阳电池研究的一些发展方向。

关 键 词：RTP硅太阳电池  研究进展  快速热处理  快速扩散模型  制作工艺  扩散机理  

分 类 号：TM914.41]