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双波长激光干涉移相式测量长度技术研究 ( EI收录)
Research on the technology measurement of length by double wavelength laser interference using phase shift
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]西安工业学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,陕西西安710032
年 份：2003
卷 号：32
期 号：4
起止页码：359-363
语 种：中文
收录情况：AJ、BDHX、BDHX2000、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：研究了应用移相干涉术测量新的一等量块的方法。对干涉图像进行多幅图的采样,由移相法计算量块测量面和与其研合的辅助平晶表面的波面面形,尤其研究了在量块干涉图中有阶跃不连续的波面复原运算的原理与技术,得到表征其表面的离散波差值,并给出量块工作面长度和长度变动量的测量结果。
关 键 词：量块 长度变动量 移相干涉术
分 类 号：O439]
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