期刊文章详细信息
燃焰法生长高质量金刚石薄膜的研究
Investigation on the Growth of High Quality Diamond Film by Combustion Flame Method
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]机械电子工业部郑州磨料磨具磨削研究所
基 金：国家自然科学基金资助项目;基金项目编号58972105.
年 份：1992
期 号：2
起止页码：2-6
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：本文介绍笔者等人用燃焰法在大气开放条件下合成金刚石薄膜的部分研究工作。通过研究O_2/C_2H_2配比和基板温度对析出的金刚石薄膜质量、结晶习性的影响,探讨了燃焰法生长高质量金刚石多晶薄膜及同质外延金刚石单晶膜的可能性。
关 键 词：燃焰法 金刚石薄膜 合成
分 类 号：TG731]
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