期刊文章详细信息
镀膜机的微机控制
The computer control of coating equipment
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,辽宁大连116023 [2]沈阳北宇真空设备厂,辽宁沈阳110041 [3]大连海事大学,辽宁大连116024
年 份：2003
卷 号：40
期 号：6
起止页码：24-26
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：设计了磁控溅射 多弧镀膜机的微机控制系统 ,采用PLC可编程控制器与上位机进行数据传递和控制设备的控制方式。本微机控制系统中的真空镀膜机 ,设计了 3套孪生磁控、10套多弧和 8级工艺的过程控制 ,具有自动组合工艺和自控程序升级功能 ,从而实现多种工艺的镀膜要求。
关 键 词：微机控制系统 磁控溅射-多弧镀膜机 PLC 可编程控制器 质量控制 真空镀膜机
分 类 号：TN305.8]
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