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基于原子力显微镜的薄膜纳米机械性能表征
文献类型：会议
作者单位：大连民族学院光电子技术研究所
会议文献：第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集
会议名称：第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
会议日期：20090720
会议地点：中国辽宁大连
主办单位：中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会、中国物理学会等离子体物理分会、中国核学会核聚变与等离子体物理学会
出版日期：20090720
学会名称：中国力学学会
语 种：中文
摘 要：<正>近年来,材料的微区力学性能研究引起广泛重视,纳米尺度上机械性能的检测显得越来越重要,尤其是那些具有广泛应用的功能性薄膜。比如类金刚石碳膜,其作为新型的硬质薄膜材料具有一系列优异的性能,如高硬度、高耐磨性、高热导率、高电阻率、良好的光学透明性、化学惰性等,可广泛用于机械、电子、光学、热学、声学、医学等
关 键 词：原子力显微镜 机械性能 性能表征 纳米机械
分 类 号：TH742.9[仪器类]
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