会议论文详细信息
退火温度对LA2/3CA1/3MNO3：AG薄膜的影响
文献类型：会议
作者单位：昆明理工大学,光电子新材料研究所 650093昆明理工大学,光电子新材料研究所 650093 德国马普固体物理所
会议文献：第十二届全国固体薄膜会议论文集
会议名称：第十二届全国固体薄膜会议
会议日期：2010年11月29日
会议地点：南宁
主办单位：中国电子学会
语 种：中文
摘 要：采用脉冲激光沉积法(PLD)在LAALO3(LAO)衬底上制备了AG掺杂的LA2／3CA1／3MNO3薄膜，X射线衍射分析表明所制备薄膜均沿[001]单取向生长，ω-θ摇摆曲线及AFM显示，所制备薄膜结晶质量较好，表面粗糙度较小，并且温度越高薄膜结晶质量越好。
关 键 词：脉冲激光沉积 LA2/3CA1/3MNO3：AG薄膜 AFM 退火氧压
分 类 号：T]
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