中国人民解放军76127部队

研究主题：作战能力硅高深宽比均匀性电化学刻蚀

研究学科：兵器类电子信息类

被引量：5H指数：2EI: 1 CSCD: 1

检索结果分析

全选清除导出

排序方式：

共 2 条记录，以下是 1-2

基于作战能力的装备经费比例优化方法: 1; 《兵工自动化》军械工程学院训练部;中国人民解放军76127部队吴宝军葛阳出版年：2015; 为使装备经费效益最大化,构建一种装备经费比例优化模型。通过分析装备经费的影响因素以及各类经费之间的影响关系,建立装备经费基本模型。以最早实现期望的装备作战能力为目标,以各类装备经费比例为控制变量,构建装备经费整体优化模型...; 关键词：装备经费经费比例优化模型

光助电化学刻蚀法制作大面积高深宽比硅深槽 ( EI收录): 2; 《纳米技术与精密工程》深圳大学光电子器件与系统教育部重点实验室;中国人民解放军76127部队赵志刚牛憨笨雷耀虎郭金川出版年：2010; 国家自然科学基金重点资助项目(60532090);国家自然科学基金资助项目(10774102);深圳市科技计划资助项目(JC200903130326A);深圳市非共识技术创新资助项目(20080506014); 为解决用光助电化学刻蚀法制作大面积高深宽比硅深槽过程中出现均匀性差的问题,在分析了传统光助电化学刻蚀装置中存在的不足的基础上,设计并制作了一套新型大面积光助电化学刻蚀装置.该装置通过特殊设计的花洒式溶液循环机构和水冷隔热...; 关键词：光助电化学刻蚀硅深槽大面积高深宽比均匀性

全选清除导出

共1页<< <1> >>