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北京中科信电子装备有限公司 收藏

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研究主题:离子注入机    离子束    束流    晶片    离子源    

研究学科:电子信息类    自动化类    电气类    机械类    核工程类    

被引量:18H指数:3北大核心: 1 CSCD: 1

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