北京中科信电子装备有限公司 
研究主题：离子注入机 离子束 束流 晶片 离子源
研究学科：电子信息类 自动化类 电气类 机械类 核工程类
- 离子注入剂量的均匀性检测和校正
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- 《微纳电子技术》北京中科信电子装备有限公司 王迪平 伍三忠 孙雪平 孙勇 王玮琪 出版年：2005
- 关键词：离子注入机 注入剂量 均匀性
- 380kV/10mA直流高压电源的研制
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- 《电源技术应用》中国电子科技集团公司第四十八研究所;北京中科信电子装备有限公司 杨建生 何学飞 刘嘉宾 孙雪平 出版年：2007
- 关键词：高压 离子加速 对称倍压 均压环
- 300mm离子注入机靶室晶圆传输控制系统设计
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- 《电子工业专用设备》北京中科信电子装备有限公司 谢均宇 杨亚兵 孙勇 出版年：2010
- 关键词：晶圆传送系统 自动控制 机械手 TURBO PMAC 有限状态机
- 高能离子注入机离子能量计算方法研究
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- 《电子工艺技术》北京中科信电子装备有限公司 张丛 卓祖亮 武文杰 出版年：2018
- 关键词：离子注入机 离子能量 射频
- 自润滑衬垫试验数据处理方法及信息系统
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- 《东华大学学报（自然科学版）》燕山大学机械工程学院;燕山大学航空自润滑关节轴承共性技术重点实验室;北京中科信电子装备有限公司 陈继刚 张进学 范兵利 冯小磊 出版年：2013
- 关键词：自润滑衬垫 数据处理 BP神经网络 最小二乘支持向量机 信息系统
- 等离子淋浴在离子注入工艺中的应用
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- 《微纳电子技术》北京中科信电子装备有限公司 彭立波 易文杰 刘仁杰 出版年：2006
- 关键词：离子注入 等离子淋浴 电荷中和 传输效率
- 一种闭环反馈稳定LED光源阵列的电路与方法
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- [发明专利] 北京中科信电子装备有限公司 20141218王高腾 出版年：2016
- 一种插片机的控制方法
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- [发明专利] 北京中科信电子装备有限公司 20140715李明阳 出版年：2016
- 一种束流性质测量装置及方法
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- [发明专利] 北京中科信电子装备有限公司 20190402李更兰 田龙 张丛 出版年：2020
- 一种新型宽束流减速器
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- [发明专利] 北京中科信电子装备有限公司 20151028林萍 出版年：2017
