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无锡迈福光学科技有限公司 收藏

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研究主题:瑕疵    积分球    探测器    波片    高灵敏度    

研究学科:机械类    电子信息类    

被引量:10H指数:1EI: 1 北大核心: 1 CSCD: 1

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16 条 记 录,以下是 1-10

激光聚焦偏移测量微小位移方法研究 ( EI收录)
1
《仪器仪表学报》浙江工业大学超精密加工研究中心;无锡迈福光学科技有限公司;绍兴职业技术学院 陆惠宗 屠明亮 纪晨东 董超 袁巨龙  出版年:2016
浙江省科技厅公益技术应用研究(2015C31053)项目资助
非接触式纳米精度位移测量在科研和工业生产中有重要应用价值。本文阐述了一种基于激光聚焦偏移原理测量微小位移的方法,首先分析了此方法的测量精度、误差及在所选光学元器件下的量程,进而描述了实验装置,并利用该装置对一个平面反射镜...
关键词:微小位移  激光聚焦偏移  空间滤波 测量精度  长期稳定性  
一种基于激光散射的表面微缺陷检测装置
2
[实用新型] 无锡迈福光学科技有限公司 20120116陆惠宗  出版年:2012
本实用新型揭示了一种基于激光散射的表面微缺陷检测装置,所述装置包括:激光器、第一分光镜、光强探测器、扩束装置、第一调整镜、第二调整镜、第二分光镜、振镜、扫描镜、积分球、散射光电探测器、第三分光镜、衰减片、反射光电探测器、...
一种激光干涉测距仪
3
[发明专利] 无锡迈福光学科技有限公司 20120625陆惠宗  出版年:2012
本发明揭示了一种激光干涉测距仪,包括激光器(10)、第一分光器(20)、第二分光器(30)、探测器(50)、参考面(40)、第一反射单元(80)、第一反射组(92)、第二反射组(91);激光器、第一分光器、第二分光器依次...
一种表面瑕疵光学检测装置及其检测方法
4
[发明专利] 无锡迈福光学科技有限公司 20150413陆惠宗  出版年:2019
本发明揭示了一种表面瑕疵光学检测装置及其检测方法,所述检测装置包括:激光器、偏振器、扩束镜、第一偏振分光镜、剪切棱镜、扫描镜面、远心扫描透镜、积分球集光器、第一光电探测器、波片、第二偏振分光镜、第二光电探测器;所述激光器...
高灵敏度表面微小瑕疵光学检测装置及检测方法
5
[发明专利] 无锡迈福光学科技有限公司 20150413陆惠宗  出版年:2016
本发明揭示了一种高灵敏度表面微小瑕疵光学检测装置及检测方法,所述检测方法包括:连续角扫描机构将准直入射光在一定的角度范围内进行连续角扫描;聚焦机构将以角度形式进行扫描的准直光束聚焦到一个平面上并将角度扫描转换成线扫描,将...
一种测量球面表面瑕疵的装置
6
[实用新型] 无锡迈福光学科技有限公司 20150727陆惠宗  出版年:2015
一种测量球面表面瑕疵的装置,包括支架,支架上设置有激光器、激光器一侧设置有探测器、支架上设置有转子平台,转子平台上设置有xy微调装置,xy微调装置位于激光器正下方,所述转子平台包括水平台面以及固定于水平台面底端的旋转轴,...
高灵敏度表面微小瑕疵光学检测装置
7
[实用新型] 无锡迈福光学科技有限公司 20150413陆惠宗  出版年:2015
本实用新型揭示了一种高灵敏度表面微小瑕疵光学检测装置及检测方法,所述检测方法包括:连续角扫描机构将准直入射光在一定的角度范围内进行连续角扫描;聚焦机构将以角度形式进行扫描的准直光束聚焦到一个平面上并将角度扫描转换成线扫描...
高灵敏度表面微小瑕疵光学检测装置及检测方法
8
[发明专利] 无锡迈福光学科技有限公司 20150413陆惠宗  出版年:2019
本发明揭示了一种高灵敏度表面微小瑕疵光学检测装置及检测方法,所述检测方法包括:连续角扫描机构将准直入射光在一定的角度范围内进行连续角扫描;聚焦机构将以角度形式进行扫描的准直光束聚焦到一个平面上并将角度扫描转换成线扫描,将...
一种高速扫描装置及其高速扫描镜组件
9
[发明专利] 无锡迈福光学科技有限公司 20120727陆惠宗  出版年:2012
本发明揭示了一种高速扫描装置及其高速扫描镜组件,所述扫描镜组件包括一电机转子,在该电机转子设有一转轴,电机转子以该转轴为轴心转动;所述转轴设有一凹槽,在凹槽内设有光学镜面;所述转轴的旋转轴线位于光学镜面上。同时,整个转轴...
一种高速扫描装置及其高速扫描镜组件
10
[发明专利] 无锡迈福光学科技有限公司 20120727陆惠宗  出版年:2015
本发明揭示了一种高速扫描装置及其高速扫描镜组件,所述扫描镜组件包括一电机转子,在该电机转子设有一转轴,电机转子以该转轴为轴心转动;所述转轴设有一凹槽,在凹槽内设有光学镜面;所述转轴的旋转轴线位于光学镜面上。同时,整个转轴...
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