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杭州士兰集成电路有限公司 收藏

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研究主题:外延层    半导体    功率半导体器件    掺杂    发射区    

研究学科:电子信息类    自动化类    经济学类    电气类    机械类    

被引量:44H指数:3北大核心: 14 CSCD: 13

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609 条 记 录,以下是 1-10

Ge单晶片的碱性化学腐蚀抛光研究
1
《浙江理工大学学报(自然科学版)》浙江理工大学材料工程中心;杭州士兰集成电路有限公司 张亚萍 蒋敏 杨成林 孙法 张秀芳 席珍强  出版年:2010
采用湿法化学腐蚀技术,研究Ge单晶片在NaOH-H2O2体系中的化学腐蚀抛光特性。通过改变腐蚀液配比、腐蚀时间、腐蚀容器,分析锗单晶腐蚀抛光过程的机理及其表面状态变化规律。结果表明:锗单晶在碱性腐蚀抛光后的表面平整度能够...
关键词:锗单晶 碱腐蚀 抛光 粗糙度Rq  
扩散炉管气体流动分析和流量计算数学模型
2
《半导体技术》杭州士兰集成电路有限公司 闫建新  出版年:2012
环境温度气体通过进气管进入高温扩散炉管后迅速膨胀,气体流量和流速均数倍增加;气体射流在炉尾形成的紊流区延伸到工艺恒温区范围,导致靠近炉尾恒温区的气体流动不稳定。通过放置挡板或挡片的方式可以减轻炉尾紊流区对恒温区Si片工艺...
关键词:扩散炉管  气体流量 流动分析  反应平衡分析  数学模型
集团公司财务共享业务对接研究——以中国中铁股份有限公司为例
3
《财务管理研究》杭州士兰集成电路有限公司 孔晓婉  出版年:2021
财务共享中心是大型企业集团信息化、数字化转型的基础,也是提升管理效率、增强竞争实力的前提。由于集团分公司、子公司数量多且分布广,与集团总部相比在规模与业务方面存有差异,对财务共享服务的认知与需求程度也有所不同,致使实际业...
关键词:财务共享中心  集团公司  系统对接与测试  
集成电路发展现状及趋势探究
4
《中国电子商务》杭州士兰集成电路有限公司 丁伯继  出版年:2014
在高科技信息技术飞速发展的21世纪,集成电路的应用在我们日常生活中越来越普及。本文在分析国内外集成电路发展趋势的基础上,提出了推动国内集成电路实现跨越发展的相关措施与建议,仅供参考!
关键词:集成电路 发展现状  趋势  措施  
深槽刻蚀工艺参数及干法清洗工艺的研究
5
《中国集成电路》杭州士兰集成电路有限公司 周浩 罗燕飞 高周妙 闻永祥 李志栓 方佼 季锋  出版年:2018
本文研究了博世(Bosch)工艺的工艺参数及清洗工艺对刻蚀结果的影响。通过调节工艺参数(包括SF6气体的流量、工艺气压、上电极(Source)功率、下电极偏压(bias)功率、C4F8钝化切换时间)研究其对刻蚀速率、选择...
关键词:博世工艺  深槽刻蚀 清洗工艺 微机械系统
采购过程中如何做好成本控制工作
6
《财经界》杭州士兰集成电路有限公司 夏荣忠  出版年:2013
从企事业单位采购工作的开展来看,成本控制是采购工作中需要衡量的重要因素,如何做好成本控制工作,是提高采购工作质量,满足采购工作需求的重要手段。基于这一考虑,在采购过程中,应认真分析采购行为特点,制定具体的措施,切实做好成...
关键词:采购过程  成本控制 供应商
SOI深槽刻蚀Notching效应的研究
7
《中国集成电路》杭州士兰集成电路有限公司 於广军 闻永祥 方佼 李志栓  出版年:2015
本文研究了高频(13.56 MHz)和低频(380 KHz)深槽刻蚀机,对SOI硅片深槽刻蚀横向切口(notching)效应的影响。结果表明:过刻蚀量(OE)在20%时,高频设备发生notching现象,但是随着槽尺寸的...
关键词:横向切口效应  深槽刻蚀 低频偏压  微机械系统
PLC在温控系统中的应用
8
《江苏科技信息》杭州士兰集成电路有限公司 朱恒杰  出版年:2019
文章详细介绍了一种PLC对设备进出水温差进行控制的方法。PLC作为核心控制单元,负责对温度信号的采集,通过A/D转换将温度的模拟信号转换为线性输出的数字信号。变频器的运行频率根据进出水的温差信号的变化而变化,并通过D/A...
关键词:PLC D/A转换 温差 变频器
深槽刻蚀侧壁平坦化技术
9
《半导体技术》杭州士兰集成电路有限公司 於广军 杨彦涛 闻永祥 李志栓 方佼 马志坚  出版年:2016
国家科技重大专项资助项目(2013ZX02310)
介绍了一种博世(Bosch)工艺深槽刻蚀后的侧壁平坦化技术。优化深槽刻蚀工艺参数使侧壁扇贝褶皱的尺寸降低至约52 nm,然后在1 100℃炉管中热氧化生长100 nm牺牲氧化层,再用HF酸漂洗工艺去除牺牲氧化层得到完全光...
关键词:深槽刻蚀(DRIE)  扇贝褶皱  博世工艺  线性氧化  光滑侧壁  
浅谈洁净厂房管道施工的质量控制
10
《绿色环保建材》杭州士兰集成电路有限公司 方雪萍  出版年:2017
随着我国建筑行业的不断发展成熟,我国对洁净厂房的要求也越来越高,尤其是洁净厂房管道的质量控制更加严格。本文主要从三个方面出发,简单的介绍了洁净厂房管道施工的质量控制。第一,洁净厂房管道施工现状;第二,结晶厂房管道施工常见...
关键词:洁净厂房  管道施工 质量  
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