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大连理工大学微系统研究中心 收藏

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研究主题:MEMS    微流控芯片    粒子图像测速    微流体    微机电系统    

研究学科:自动化类    机械类    电气类    电子信息类    能源动力类    

被引量:48H指数:4EI: 6 北大核心: 6 CSCD: 8

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20 条 记 录,以下是 1-10

中国MEMS的研究与开发进程
1
《仪表技术与传感器》大连理工大学微系统研究中心 王立鼎 罗怡  出版年:2003
微机电系统 (MicroElectroMechanicalSystems)是 80年代发展起来的新兴交叉学科 ,其系统包括能源、微驱动器、微执行器、微传感器、微控制器以及与外界的接口等。由于该系统能够实现各类产品的微型化...
关键词:中国  MEMS 研究  开发  微机电系统 微型化 集成化
一种适用于无线多媒体传感器网络的节点不相交多路径路由协议
2
《传感技术学报》大连理工大学微系统研究中心;中国人民解放军65185部队 金仁成 秦纪云 高腾 王立鼎 胡熠东  出版年:2010
国家973重点基础研究发展计划资助(2009CB320300);辽宁省教育厅高等学校科技研究项目资助
设计了一种适用于无线多媒体传感器网络的高效节点不相交多路径路由协议。以源路由的方式建立多路径,中间节点通过有选择的转发RREQs,降低路由建立开销。将链路质量量化为数据接收率,利用数据接收率、节点能量及路径跳数等,定义了...
关键词:无线多媒体传感器网络 路径效率  节点不相交  多路径路由
基于微型悬臂梁的发电机制探索 ( EI收录)
3
《中国机械工程》大连理工大学微系统研究中心 杜小振 褚金奎 朴相镐 张海军  出版年:2005
国家自然科学基金资助项目(50475153);教育部新世纪优秀人才支持项目
微机电系统(MEMS)微型化过程中,要求电源装置也必须向微型化发展.在现有微电源研究基础上,结合微型硅悬臂梁的力学分析以及压电晶体材料压电效应特性,提出一种新的压电陶瓷(PZT)微型硅悬臂梁发电装置.借助微型硅悬臂梁质量...
关键词:微型悬臂梁  压电陶瓷 微能源  MEMS
PMMA微流控芯片微通道热压成形与键合工艺研究 ( EI收录)
4
《光学精密工程》大连理工大学 温敏 王晓东 刘冲 马骊群  出版年:2004
国家863微机电系统重大专项(2002AA404460)和辽宁省自然科学基金(20032131)资助项目
微流控芯片在化学分析、临床诊断等领域的应用前景广阔.聚合物材料具有低成本、良好的加工性能、可用热压等快速成形方法加工微通道、易于实现批量生产等优点,适于作为制作微流控芯片的基材.本文研究了微通道热压成形及其芯片制作工艺....
关键词:聚甲基丙烯酸甲酯 微流控芯片 热压成形  
基于MEMS技术的微型质子交换膜燃料电池 ( EI收录)
5
《中国机械工程》大连理工大学微系统研究中心 梁军生 刘冲 王立鼎  出版年:2005
辽宁省自然科学基金资助项目(20042144)
介绍了微型质子交换膜燃料电池的基本工作原理.依据当前微型燃料电池的发展现状,重点探讨基于MEMS工艺的微型燃料电池微流场板、膜电极集合体等基本构件制造过程,提出了其中的关键技术和瓶颈问题.分析了微型质子交换膜燃料电池的微...
关键词:MEMS 质子交换膜 燃料电池 流场板 膜电极
电动微流体显微粒子图像测速误差修正方法 ( EI收录)
6
《大连理工大学学报》大连理工大学微系统研究中心 黎永前 徐征 刘冲 王立鼎  出版年:2006
国家自然科学基金资助项目(重点项目5013504050505040)
在电动微流体粒子图像测速技术中,示踪粒子的电泳运动是影响测量不确定度的主要因素之一.采用电流方法和粒子图像跟踪技术相结合,测量流体的平均电渗淌度和示踪粒子运动淌度,计算粒子的电泳淌度,据此对显微粒子图像测速结果进行修正....
关键词:显微粒子图像测速  示踪粒子  电渗淌度  电泳淌度  
中国MEMS的研究与开发进程(简稿)
7
仪器仪表与自动化技术发展学术大会 2002王立鼎  出版年:2002
微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems)是80年代发展起来的新兴交叉学科,其系统包括能源、微驱动器、微执行器、微传感器、微控制器以及与外界的接口等。由于该系统能够实现各类产品的微型化...
关键词:微机电系统 重大意义  
集成浓度梯度发生器的多层微流控细胞培养芯片的设计与制作
8
第一届国际微纳尺度生物医学分离和分析技术学术会议暨第六届全国微全分析学术会议 2010丁喜平 刘冲 徐征 李经民 王蕾  出版年:2010
设计了一种集成浓度梯度发生器和细胞培养阵列的多层微流控芯片,利用厚胶光刻工艺和干法刻蚀工艺分别制作了SU-8胶模具和硅模具,浇注PDMS制得芯片。利用制作的芯片进行A549肺腺癌细胞的培养,该细胞可很好地贴壁生长,为研究...
关键词:集成浓度梯度发生器  微流控芯片 细胞培养阵列  抗癌药物
硅基PZT压电薄膜微力传感器的测试和优化
9
第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会 2006孟汉柏 崔岩  出版年:2006
采用MEMS体硅加工工艺制作了三种不同尺寸的硅基PZT压电薄膜微悬臂梁式结构。这种结构被用来作为测量毫克级微小力的微力传感器。PZT压电薄膜在基体Pt/Ti/SiO_2/Si<100>上用溶胶--凝胶(Sol-Gel)方...
关键词:MEMS PZT薄膜 微力传感器 微探针式双晶片测试系统  静态和准静态  有限元法  
Cr金属薄膜温度传感器的研究
10
第二届全国信息获取与处理学术会议 2004闫卫平 朱剑波 马灵芝 郭吉洪  出版年:2004
采用等离子体溅射方法制备了Cr金属薄膜式温度传感器。探讨了光刻腐蚀工艺、Cr薄膜厚度及薄膜热处理温度对Cr薄膜电阻温度系数的影响。通过选择合适的制备工艺,得到了较理想的Cr金属薄膜温度传感器。
关键词:温度传感器 Cr金属薄膜  电阻温度系数
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