贵州大学等离子体与材料表面作用研究所 
研究主题：分子动力学 分子动力学模拟 SIC 刻蚀 入射能量
研究学科：电子信息类 核工程类
- 分子动力学模拟样品温度对F刻蚀SiC的影响 ( EI收录)
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- 《真空科学与技术学报》贵州大学等离子体与材料表面作用研究所;四川大学核科学与技术工程学院;比利时安特卫普大学化学系PLASMANT课题组;荷兰皇家科学院等离子体所 宁建平 秦尤敏 吕晓丹 A．Bogaerts 苟富君 出版年：2010
- 关键词：分子动力学 刻蚀 样品温度 SIC
- Ar＋与氟化的Si样品相互作用机制的研究：分子动力学模拟 ( EI收录)
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- 《真空科学与技术学报》贵州大学等离子体与材料表面作用研究所;四川大学核科学与技术工程学院;比利时安特卫普大学化学系PLASMANT课题组;荷兰皇家科学院等离子体所 秦尤敏 吕晓丹 宁建平 A．Bogaerts 苟富君 出版年：2010
- 关键词：分子动力学 作用机制 刻蚀 表面富F样品表 面富C样品
- 聚变堆中碳原子在碳氢薄膜表面再沉积行为的分子动力学模拟研究
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- 《核聚变与等离子体物理》贵州大学等离子体与材料表面作用研究所;贵州大学理学院;四川大学原子核科学技术研究所;U;核工业西南物理研究院;荷兰皇家科学院等离子体所 赵成利 孙伟中 刘华敏 张浚源 吕晓丹 秦尤敏 宁建平 贺平逆 潘宇东 苟富均 Cheng-li Wei-zhong Hua-min Jun-yuan L(U) Xiao-dan You-min Jian-ping Ping-li Yu-dong Fu-jun 出版年：2010
- 关键词：聚变堆 碳原子 碳氢 薄膜表面 沉积行为 分子动力学方法 模拟研究 fusion REACTOR dynamics simulation 入射能量 碳薄膜 作用过程 结合形式 相互作用 模拟结果 薄膜作用 薄膜厚度 原子键
- C^+轰击铍的分子动力学模拟
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- 《核聚变与等离子体物理》四川大学原子核科学技术研究所辐射物理及技术教育部重点实验室;贵州大学等离子体与材料表面作用研究所;核工业西南物理研究院;荷兰皇家科学院等离子体所 孙伟中 赵成利 张浚源 陈峰 潘宇东 苟富均 出版年：2011
- 关键词：分子动力学 入射能量 溅射 滞留 富C层
- 分子动力学模拟不同入射能量的CH与碳氢薄膜的相互作用 ( EI收录)
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- 《真空科学与技术学报》贵州大学等离子体与材料表面作用研究所;贵州大学材料与冶金学院;比利时安特卫普大学化学系PLASMANT课题组;辐射物理及技术教育部重点实验室;荷兰皇家科学院等离子体所 秦尤敏 吕晓丹 赵成利 宁建平 贺平逆 A.Bogaerts 苟富均 出版年：2011
- 关键词：分子动力学 碳氢薄膜 再沉积 吸附率
- 聚变堆中H刻蚀碳氢薄膜的分子动力学模拟 ( EI收录)
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- 《真空科学与技术学报》贵州大学等离子体与材料表面作用研究所;贵州大学材料与冶金学院;辐射物理及技术教育部重点实验室;荷兰皇家科学院等离子体所 吕晓丹 秦尤敏 赵成利 宁建平 贺平逆 苟富均 出版年：2011
- 关键词：分子动力学 碳氢薄膜 吸附 刻蚀
- 入射能量对H2^＋与SiC表面相互作用影响的分子动力学模拟
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- 《核聚变与等离子体物理》四川大学原子核科学技术研究所;贵州大学等离子体与材料表面作用研究所;核工业西南物理研究院;荷兰皇家科学院等离子体所 孙伟中 赵成利 刘华敏 张浚源 吕晓丹 潘宇东 苟富均 出版年：2011
- 关键词：分子动力学 入射能量 滞留H原子 刻蚀
- 低能Cl原子刻蚀Si(100)表面的分子动力学模拟 ( EI收录)
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- 《物理学报》贵州大学等离子体与材料表面作用研究所;贵州大学理学院;荷兰皇家科学院等离子体研究所 贺平逆 宁建平 秦尤敏 赵成利 苟富均 出版年：2011
- 关键词：分子动力学 Cl刻蚀Si 分子动力学模拟 微电子机械系统
- 分子动力学模拟不同入射能量的SiF_2与SiC的相互作用 ( EI收录)
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- 《真空科学与技术学报》贵州大学等离子体与材料表面作用研究所;贵州大学理学院;辐射物理及技术教育部重点实验室;荷兰皇家科学院等离子体所 赵成利 秦尤敏 吕晓丹 宁建平 贺平逆 苟富均 出版年：2011
- 关键词：分子动力学 分解率 沉积率 SixFy薄膜
- 分子动力学方法的模拟参数对结果的影响 ( EI收录)
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- 《材料导报（纳米与新材料专辑）》贵州大学等离子体与材料表面作用研究所;比利时安特卫普大学化学系PLASMANT课题组;四川大学核科学与技术工程学院;荷兰皇家科学院等离子体所 秦尤敏 吕晓丹 宁建平 张利纯 赵成利 贺平逆 BogaertsA 苟富君 出版年：2009
- 关键词：分子动力学 热浴 弛豫 刻蚀
