- 两步氧离子注入工艺制备SOI材料研究 ( EI收录)
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- 《科学通报》中国科学院上海微系统与信息技术研究所;上海新傲科技股份有限公司 魏星 薛忠营 武爱民 王湘 李显元 叶斐 陈杰 陈猛 张波 林成鲁 张苗 王曦 出版年:2010
- 关键词:绝缘体上的硅 界面形貌 剂量窗口 注氧隔离
- 试论自动化通信设备的常见故障及维修
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- 《城市建筑》上海新傲科技股份有限公司 薛会海 出版年:2016
- 关键词:自动化 通信设备 常见故障 维修
- 多片平板硅外延机台均匀性提升研究
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- 《机电信息》上海新傲科技股份有限公司 吴庆东 出版年:2024
- 关键词:多片平板外延机台 炉内均匀性 旋转控制系统
- 晶圆的表面氧化方法
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- [发明专利] 上海新傲科技股份有限公司 20190425徐慧军 庄俞佳 王浩 李翔宇 出版年:2022
- 表征衬底表面性质的装置以及方法
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- [发明专利] 上海新傲科技股份有限公司 20110513张峰 曹共柏 魏星 王文宇 王曦 出版年:2014
- 混合晶向应变硅衬底及其制备方法
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- [发明专利] 上海新傲科技股份有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 20091013魏星 王湘 李显元 张苗 王曦 林成鲁 出版年:2012
- 晶圆处理装置
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- [实用新型] 上海新傲科技股份有限公司 20200426徐慧军 徐浩 徐成耀 张雅荣 出版年:2020
- SOI基底及其形成方法、半导体结构及其形成方法
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- [发明专利] 上海新傲科技股份有限公司 20241127刘松 李炜 汪聪颖 李文龙 魏星 出版年:2025
- 带有绝缘埋层的沟槽栅功率场效应晶体管
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- [发明专利] 上海新傲科技股份有限公司 20131231魏星 徐大伟 狄增峰 方子韦 出版年:2014
- 适用于高压器件的硅片及其制造方法
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- [发明专利] 上海新傲科技股份有限公司 20240929吴庆东 张昱 汪金梅 李炜 李晓标 黄俊 出版年:2025


