- 镀膜机的微机控制
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- 《真空》大连理工大学三束材料改性国家重点实验室;沈阳北宇真空设备厂;大连海事大学 陈玲玲 李国卿 黄开玉 关秉羽 汪思源 出版年：2003
- 关键词：微机控制系统 磁控溅射-多弧镀膜机 PLC 可编程控制器 质量控制 真空镀膜机
- 强流磁约束金属离子注入源 ( EI收录)
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- 《核聚变与等离子体物理》大连理工大学三束材料改性国家重点实验室;沈阳市北宇真空设备厂 牟宗信 龙振湖 李国卿 关秉羽 出版年：2005
- 关键词：等离子体 离子束 离子源
- 对靶非平衡磁控溅射系统平面探针诊断
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- 《真空》大连理工大学三束材料改性国家重点实验室;沈阳市北宇真空设备厂 牟宗信 李国卿 关秉羽 出版年：2002
- 关键词：非平衡磁控溅射系统 平面探针 诊断 薄膜 等离子体 镀膜技术
- 镀膜机的微机控制
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- TFC’03全国薄膜技术学术研讨会 2003陈玲玲 李国卿 关秉羽 汪思源 出版年：2003
- 关键词：镀膜机 微机控制 磁控溅射
- 等离子体-离子束源增强沉积设备
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- TFC’03全国薄膜技术学术研讨会 2003李国卿 柳翠 牟宗信 关秉羽 出版年：2003
- 关键词：沉积设备 等离子体源 增强沉积 离子束
- 不锈钢的离子氮化-离子镀膜一体化
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- TFC’03全国薄膜技术学术研讨会 2003苟伟 李国卿 关秉羽 出版年：2003
- 关键词：等离子体源 离子氮化 多弧离子镀 复合涂层
- 等离子体增强磁控溅射沉积技术(PMD)制备薄膜
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- TFC’03全国薄膜技术学术研讨会 2003柳翠 李国卿 王力阁 关秉羽 出版年：2003
- 关键词：等离子体增强磁控溅射沉积技术 平面等离子体源 镀膜
- 脉冲磁过滤阴极弧等离子体制备四面体非晶碳膜
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- TFC’03全国薄膜技术学术研讨会 2003张成武 李国卿 柳翠 关秉羽 出版年：2003
- 关键词：磁过滤 阴极弧 四面体非晶碳膜 等离子体
- Ti掺杂类金刚石碳膜的结构与性能的研究
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- TFC’03全国薄膜技术学术研讨会 2003柳翠 李国卿 牟宗信 张成武 关秉羽 出版年：2003
- 关键词：磁控溅射 类金刚石碳膜 金属掺杂
